【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有导热装置的坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体（2）及设置于坩埚本体（2）内的导热装置（4），所述导热装置（4）呈树状，其包括散热主干（42）及设于散热主干（42）上的数层散热枝干（44），每层散热枝干（44）包括数个枝干单元（442），所述枝干单元（442）由所述散热主干（42）的外表面向外延伸设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邹清华，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。