采用水溶液凝胶法制备含钽／铌的叠层介电薄膜的方法技术

本发明专利技术涉及采用水溶液凝胶法制备含钽／铌的叠层介电薄膜的方法，包括有以下步骤：1）将过氧-Ta-柠檬酸溶液或过氧-Nb-柠檬酸溶液；MgCO3或ZnCO3;BaCO3或CaCO3进行混合，加入柠檬酸，加水作为溶剂，溶解，搅拌，加氨水，直至变为澄清的溶液，继续搅拌，得到稳定透明的前驱体溶液；2）滴于基片上，涂敷，在热板上干燥；3）在500～600℃热分解，完成一层薄膜的旋涂；4）重复制备多层薄膜；5）将多层薄膜，热处理，即得。本发明专利技术的有益效果在于：制备工艺简单，成本低廉，对环境更加友好，适用于工业化应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
采用水溶液凝胶法制备含钽/铌的叠层介电薄膜的方法，包括有以下步骤：1）根据A(B′1/3B″2/3)O3化学计量比，其中A为Ca或Ba,B′为Mg或Zn，B″为Ta或Nb，将过氧?Ta?柠檬酸溶液或过氧?Nb?柠檬酸溶液；MgCO3或ZnCO3；BaCO3或CaCO3进行混合，加入柠檬酸A，加水作为溶剂，溶解，40?60℃加热搅拌，15min后加氨水调节pH值，直至变为澄清的溶液，继续搅拌，然后加乙醇胺为稳定剂，得到稳定透明的前驱体溶液；2）将步骤1）得到的前驱体溶液滴于基片上，用台式匀胶机使溶液均匀地涂敷在基片上，然后在热板上干燥；3）将步骤2）干燥后的薄膜在500～600℃热分解，即完成一层薄膜的旋涂；4）重复步骤2）和步骤3）制备多层薄膜；5）将步骤4）制备的多层薄膜，在650～800℃热处理0.5～2h，得到相应的含钽/铌的叠层介电薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周静，文利平，陈文，胡麟，沈杰，曹越，李润润，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：