一种石英电极的低温充氮装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种石英电极的低温充氮装置，包括循环水管、筒体、上盖、石英电极、支架、隔离玻璃、硅胶管和塑料管；其中循环水管排列在筒体底部，支架上部放置隔离玻璃，下部固定在循环水管上，硅胶管环绕在筒体内壁中部，多个塑料管插入硅胶管内。当石英电极表面进行聚合反应时，循环水管内通入循环冷水，硅胶管一端通入氮气，氮气从多个塑料管流出，且经隔离玻璃四周边缘缓慢沉降到石英电极周围，紫外照射一段时间后取出石英电极。本实用新型专利技术结构合理，成本低廉，操作方便，生产成本低，不仅满足石英电极表面聚合反应在低温通氮环境中进行，也避免氮气中低能粒子污染石英电极表面。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石英电极的低温充氮装置，包括循环水管、筒体、上盖、石英电极、支架、隔离玻璃、硅胶管和塑料管，其特征在于：所述循环水管排列在筒体底部，支架上部放置隔离玻璃，下部固定在循环水管上，硅胶管环绕在筒体内壁中部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛永强，王继仁，李娜，王雪峰，
申请(专利权)人：辽宁工程技术大学，
类型：实用新型
国别省市：