【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于永磁环的悬浮抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，所述悬浮基盘与加压组件连接，所述研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，所述悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，所述楔形槽中充满研磨液，所述楔形槽和加工工位间隔设置，其特征在于：所述研磨盘为U形研磨盘，所述悬浮抛光装置还包括第一永磁环和第二永磁环，所述第一永磁环套装在悬浮基盘外表面，所述第二永磁环套装在U形研磨盘内表面，所述悬浮基盘套装在U形研磨盘内且与U形研磨盘内壁有间隙，所述第一永磁环外圈和第二永磁环内圈磁性相同。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张利，金明生，单晓杭，孙建辉，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：实用新型
国别省市：
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