分光模块以及分光模块的制造方法技术

本发明专利技术提供一种高可靠性的分光模块。在本发明专利技术所涉及的分光模块（1）中，向分光部（4）行进的光L1在通过光通过孔（50）的时候，穿过朝着基板（2）侧变得越来越窄的光入射侧部（51），只有入射到以与光入射侧部（51）的底面（51b）相对的形式形成的光出射侧部（52）的光从光出射开口（52a）出射。为此，入射到光入射侧部（51）的侧面（51c）或者底面（51b）的杂散光M被反射到与光出射侧部（52）相反的一侧，所以能够抑制杂散光入射到光出射侧部（52）。因此，能够提高分光模块（1）的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2009年5月7日、申请号为200980117280.1、专利技术名称为分光模块以及分光模块的制造方法的专利申请的分案申请。
本专利技术是有关对光进行分光并加以检测的分光模块以及其制造方法。
技术介绍
作为以往的分光模块例如众所周知专利文献1～3所记载的分光模块。在专利文献1中记载的分光模块具备：使光透过的支撑体、使光入射到支撑体的入射狭缝部、对入射到支撑体的光进行分光并加以反射的凹面衍射光栅、检测由凹面衍射光栅进行分光并反射的光的二极管。专利文献1：日本专利申请公开平4-294223号公报专利文献2：日本专利申请公开2000-65642号公报专利文献3：日本专利申请公开2004-354176号公报
技术实现思路
然而，对于专利文选1所记载的分光模块来说，从入射狭缝部入射的光会变成在支撑体内进行散射的杂散光，从而有分光模块的可靠性发生降低的担忧。因此，本专利技术就是借鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种高可靠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分光模块，其特征在于：具备：分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行进的光所通过的光通过孔，所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入射侧部以及在所述基板部的另一主面划定光出射开口的光出射侧部，所述光入射侧部具有与所述一主面大致平行的底面并且以朝着所述另一主面变得越来越窄的形式形成，所述光出射侧部具有与所述另一主面大致垂直的侧面并且以与所述底面相对的形式形成，所述基板部由结晶材料构成，所述光入射侧部的侧面沿着（111）结晶面形成。

【技术特征摘要】
2008.05.15 JP 2008-128687;2008.12.05 JP 2008-31101.一种分光模块，其特征在于：
具备：
分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及
光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，
所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行
进的光所通过的光通过孔，
所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入
射侧部以及在所述基板部的另一主面划定光出射开口的光出射侧部，
所述光入射侧部具有与所述一主面大致平行的底面并且以朝着所
述另一主面变得越来越窄的形式形成，
所述光出射侧部具有与所述另一主面大致垂直的侧面并且以与所
述底面相对的形式形成，
所述基板部由结晶材料构成，
所述光入射侧部的侧面沿着（111）结晶面形成。
2.一种分光模块，其特征在于：
具备：
分光部，对所入射的光进行分光并反射；以及
光检测元件，检测由所述分光部进行了分光的光，
所述光检测元件具有基板部，该基板部上形成有向所述分光部行
进的光所通过的光通过孔，
所述光通过孔包含在所述基板部的一主面划定光入射开口的光入
射侧部...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴山胜己，笠原隆，吉田杏奈，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：