一种氧化锌和/或氧化锌合金的湿法刻蚀方法技术

本发明专利技术属于无机化学领域，公开了一种氧化锌和/或其合金材料的湿法刻蚀方法,该方法包括以下步骤:首先制作氧化锌以及其合金材料的掩膜,然后通过过氧化氢溶液进行刻蚀。上述刻蚀方法中,由于采用了过氧化氢溶液作为刻蚀剂,因此可以保证刻蚀表面平整,刻蚀速率可控,并且只需要改变过氧化氢溶液的浓度,就可以在保证刻蚀表面平整光滑的前提下,得到不同的刻蚀速率,操作非常简单；而且，还可以通过控制刻蚀时间来控制刻蚀深度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氧化锌和/或氧化锌合金的湿法刻蚀方法，其特征在于，采用过氧化氢溶液作为刻蚀剂进行刻蚀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉超，汤子康，吴天准，张权林，苏龙兴，陈明明，祝渊，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：