一种用于角度位移测量的弦线绕组传感器制造技术

本实用新型专利技术设计一种用于角度位移测量的弦线绕组传感器，包括定子和动子，在定子的圆周平面上有通过MEMS技术呈正弦形状刻线而形成的弦线平面绕组，所述弦线平面绕组分为A、B、C三相绕组，它们在空间上互差2τ/3布置，作为传感器的感应绕组，每相绕组由若干根极距为τ的导电绕组构成；在动子的圆周平面上有通过MEMS技术呈矩形形状刻线而形成的矩形平面绕组，所述矩形平面绕组等极距，串联成单相绕组，作为传感器的激励绕组；所述传感器通过动子激励绕组产生的激励磁场，在定子感应绕组上感应产生与位移呈精确函数关系、且相位互差120°的三相感应电势信号。本实用新型专利技术可以提高传感器的对极数，提高感应信号质量，从源头上提高位移测量精度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于角度位移测量的弦线绕组传感器，包括定子和动子，其特征在于：在定子的圆周平面上有通过MEMS技术呈正弦形状刻线而形成的弦线平面绕组，所述弦线平面绕组分为A、B、C三相绕组，它们在空间上互差2τ/3布置，作为传感器的感应绕组，每相绕组由若干根极距为τ的导电绕组构成；在动子的圆周平面上有通过MEMS技术呈矩形形状刻线而形成的矩形平面绕组，所述矩形平面绕组等极距，串联成单相绕组，作为传感器的激励绕组；所述传感器通过动子激励绕组产生的激励磁场，在定子感应绕组上感应产生与位移呈精确函数关系、且相位互差120°的三相感应电势信号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯济琴，陈鸿雁，
申请(专利权)人：重庆理工大学，
类型：实用新型
国别省市：