【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体结构,包括:半导体衬底,具有第一区域和第二区域;浅沟槽隔离(STI)部件,形成在所述半导体衬底中,其中,所述STI部件包括设置在所述第一区域中并具有第一厚度T1的第一部分和设置在所述第二区域中并具有大于所述第一厚度T1的第二厚度T2的第二部分,所述STI部件的所述第一部分相对于所述STI部件的所述第二部分凹陷;多个鳍式有源区,位于所述半导体衬底上;以及多个导电部件,设置在所述鳍式有源区和所述STI部件上,其中,一个导电部件覆盖所述第一区域中的所述STI部件的所述第一部分。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:胡嘉欣,张胜杰,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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