用于集成有电容器的FinFET的结构和方法技术

技术编号:9296714 阅读:66 留言:0更新日期:2013-10-31 01:00
本公开提供用于集成有电容器的FinFET的结构和方法,其中,半导体结构的一个实施例包括:半导体衬底,具有第一区域和第二区域;浅沟槽隔离(STI)部件,形成在半导体衬底中。STI部件包括设置在第一区域中并具有第一厚度T1的第一部分和设置在第二区域中并具有大于第一深度的第二厚度T2的第二部分,STI部件的第一部分相对于STI部件的第二部分凹陷。半导体结构还包括:多个鳍式有源区,位于半导体衬底上;以及多个导电部件,设置在鳍式有源区和STI部件上,其中,一个导电部件覆盖第一区域中的STI部件的第一部分。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体结构,包括:半导体衬底,具有第一区域和第二区域;浅沟槽隔离(STI)部件,形成在所述半导体衬底中,其中,所述STI部件包括设置在所述第一区域中并具有第一厚度T1的第一部分和设置在所述第二区域中并具有大于所述第一厚度T1的第二厚度T2的第二部分,所述STI部件的所述第一部分相对于所述STI部件的所述第二部分凹陷;多个鳍式有源区,位于所述半导体衬底上;以及多个导电部件,设置在所述鳍式有源区和所述STI部件上,其中,一个导电部件覆盖所述第一区域中的所述STI部件的所述第一部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:胡嘉欣张胜杰
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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