【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种形成半导体芯片的方法,其特征在于,包括:提供基底,所述基底具有第一表面以及第二表面;在所述基底中形成贯穿孔,所述贯穿孔贯穿所述第一表面以及所述第二表面,且所述贯穿孔填满有牺牲层;移除所述牺牲层;在所述基底的所述第二表面形成绝缘层,所述绝缘层具有第二开孔暴露所述贯穿孔;以及在所述贯穿孔以及所述第二开孔中填满导电层,以同时在所述贯穿孔中形成穿硅通孔,以及在所述第二开孔中形成凸点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈逸男,徐文吉,叶绍文,刘献文,
申请(专利权)人:南亚科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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