【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种强流电子注截面三坐标扫描测量系统,包括一个测量工作区腔体(101)和一套法拉第筒传感器系统(401),其特征在于,在所述测量工作区腔体(101)的内部具有一套高真空运动机构,该机构包括一个高真空三坐标移动平台(201),所述高真空三坐标移动平台(201)是由可在两两之间相互正交的三个方向上可精密移动的移动平台组合而成;所述法拉第筒传感器系统(401)包括由法拉第外筒和法拉第内筒构成的法拉第传感器,所述法拉第筒传感器设置在一个法拉第筒传感器支撑杆(5)的端部,所述法拉第筒传感器支撑杆(5)是一个中空的管道,其中心具有绝缘于法拉第筒传感器支撑杆(5)的内壁及法拉第筒外筒(7)的电流引线(6),该电流引线(6)用于收集内筒的微电流;所述法拉第筒传感器支撑杆(5)固定在所述高真空运动机构上,通过所述高真空运动机构的驱动,其能够在所述三个方向上移动和定位。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴迅雷,阮存军,李庆生,李崇山,李彦峰,
申请(专利权)人:中国科学院电子学研究所,
类型:发明
国别省市:
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