X射线检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种X射线检测装置，其包括X射线照射部（3）、X射线检测器（4）以及具有多个光圈孔（21）、（22）、（23）且能移动的准直器（2）。准直器（2）上设有使光通过的窗口部（24），光圈孔（21）、（22）、（23）和窗口部（24）沿同一方向排列。准直器（2）通过在所述方向上移动，改变将X射线照射部（3）向试样照射的X射线缩小的光圈孔的直径，此外，准直器（2）能够移动到摄像部通过窗口部（24）能拍摄试样的位置。即使在X射线照射部（3）、X射线检测器（4）和准直器（2）接近的状态下，也能对试样进行拍摄，由此使能拍摄试样的X射线检测装置能够实现小型化。

【技术实现步骤摘要】
X射线检测装置
本专利技术涉及向试样照射X射线并检测从试样产生的荧光X射线的X射线检测装置。
技术介绍
荧光X射线分析是一种向试样照射X射线，检测从试样产生的荧光X射线，并根据荧光X射线的光谱进行试样所含的元素的定性分析或定量分析的分析方法。通常为了抑制检测到从试样的分析对象部分产生的荧光X射线以外的X射线，X射线检测装置上设有使照射用的X射线或荧光X射线缩小的准直器。准直器是通过在能遮断X射线的物体上形成光圈孔而形成的，准直器使向试样的分析对象部分照射的X射线或从试样的分析对象部分产生的荧光X射线通过并遮断其他的X射线，由此选择性地使来自试样的分析对象部分的荧光X射线向X射线检测器入射。试样的分析对象部分的大小随试样的不同或分析目的的不同等而不同，将X射线或荧光X射线缩小的范围的大小也不同。因此，公开有一种包括具有不同直径的多个光圈孔的准直器的X射线检测装置，通过移动准直器可以改变光圈孔的大小。日本专利公开公报特开2002-214167号公开了所述的X射线检测装置。此外，X射线检测装置包括用于拍摄试样的摄像部。伴随电路基板等试样的细微化，需要使X射线检测装置小型化。此外，为了能更简便地进行荧光X射线分析，也要求X射线检测装置实现小型化。在小型化的X射线检测装置中，将X射线照射部、X射线检测器、试样支承部和准直器尽可能地接近配置。在这样的X射线检测装置中，试样会被X射线照射部、X射线检测器或准直器中的任意一个遮挡，难以对试样进行拍摄。尽管存在可以通过移动试样支承部来对试样进行拍摄的技术方案，但是在该技术方案中存在不能拍摄处于被X射线照射的位置的试样的问题。
技术实现思路
鉴于所述的问题，本专利技术的目的是提供一种X射线检测装置，在实现小型化的同时能对试样进行拍摄。本专利技术提供一种X射线检测装置，其包括：X射线照射部；试样支承部，支承试样，所述试样被来自所述X射线照射部的X射线照射；X射线检测器，检测从所述试样产生的X射线；准直器，具有尺寸不同的多个光圈孔，能进行用于改变X射线通过的所述光圈孔的移动；以及摄像部，取得所述试样支承部支承的所述试样的光学图像，所述准直器具有窗口部，用于所述试样的光学图像的光能通过所述窗口部，并且所述准直器能进行用于将所述窗口部的位置改变到所述摄像部通过所述窗口部能取得所述试样的光学图像的位置的移动。在本专利技术中，具备X射线照射部和X射线检测器并检测来自试样的X射线的X射线检测装置，在能移动的准直器上设有窗口部，准直器移动到摄像部通过窗口部能取得试样的光学图像的位置。尽管当准直器处在用于缩小X射线的位置时不能进行试样的拍摄，但是当准直器移动到规定的位置时，通过窗口部能对试样进行拍摄。根据本专利技术的X射线检测装置，所述多个光圈孔和所述窗口部沿一个方向排列，所述准直器能沿所述方向移动。在本专利技术中，多个光圈孔和窗口部沿同一个方向排列，准直器能在该方向上移动。通过一个动作进行光圈孔的直径的变更和将窗口部向能拍摄的位置移动。根据本专利技术的X射线检测装置，其还包括：与所述方向平行的轴；以及直线驱动电动机，具有与所述轴平行的驱动轴，沿长边方向直线驱动所述驱动轴，所述轴与所述驱动轴连接，所述准直器与所述轴连接。在本专利技术中，准直器与通过直线驱动电动机在长边方向上往返运动的轴连接，通过直线驱动电动机的动作而移动。根据本专利技术的X射线检测装置，所述X射线照射部的X射线射出的端部、所述X射线检测器的X射线入射的端部以及所述准直器，配置在密封箱内，所述轴贯穿所述密封箱的壁并设有用于保持密封状态的轴封。在本专利技术中，X射线照射部的X射线射出的端部、X射线检测器的X射线入射的端部以及准直器配置在密封箱内，轴上设有轴封，在密封下进行X射线检测。根据本专利技术的X射线检测装置，所述试样支承部为水平板状，具有承载试样的X射线透射窗，所述摄像部配置在所述试样支承部的正下方，所述准直器沿所述试样支承部的下侧的面移动，所述X射线照射部配置于从斜下方向所述X射线透射窗照射X射线的位置，所述X射线检测器配置于检测向斜下方向透射过所述X射线透射窗的X射线的位置。在本专利技术中，X射线检测装置的X射线照射部、X射线检测器和准直器等荧光X射线的检测所需要的机构全部配置在试样支承部的下侧，试样承载在试样支承部上。没有妨碍试样的承载和更换的结构物。根据本专利技术的X射线检测装置，所述窗口部是使用透明的平板构成的。根据本专利技术的X射线检测装置，所述准直器能移动到从所述X射线照射部向所述X射线透射窗照射的X射线能通过所述多个光圈孔中的任意一个的位置。根据本专利技术的X射线检测装置，所述准直器能移动到将所述窗口部配置在所述X射线透射窗的正下方的位置。根据本专利技术的X射线检测装置，所述X射线透射窗是通过在形成于所述试样支承部上的贯通孔上覆盖X射线透射膜而构成的。根据本专利技术的X射线检测装置，所述X射线检测装置还包括发光元件，所述发光元件向承载于所述X射线透射窗的试样的下侧的面照射光。在本专利技术中，窗口部是使用透明的构件构成的，通过窗口部能防止试样从X射线透射窗落下。按照本专利技术，由于无需将试样从被X射线照射的位置移动就能对试样进行拍摄，所以能对处于被X射线照射的位置的试样进行拍摄。即使在X射线照射部、X射线检测器和准直器接近的状态下也能对试样进行拍摄，因此本专利技术具备能使可与荧光X射线的检测一起对试样进行拍摄的X射线检测装置实现小型化等优异的效果。附图说明图1是示意性地表示X射线检测装置的主要部分结构的立体图。图2是表示图1的II-II截面的截面示意图。图3是表示从上侧观察准直器的俯视示意图。图4是表示从上侧观察准直器的俯视示意图。图5是表示图1的V-V截面的截面示意图。具体实施方式下面根据表示实施方式的附图具体说明本专利技术。图1是示意性地表示X射线检测装置的主要部分结构的立体图。X射线检测装置用于检测向试样照射X射线后产生的荧光X射线，进行荧光X射线光谱的测量或进行分析试样所含元素的荧光X射线分析。X射线检测装置包括用于支承试样的试样支承部1。试样支承部1为水平板状，通过承载试样的方式来支承试样。试样支承部1上设有贯通孔11。图1中未图示的试样以封堵贯通孔11的方式承载在试样支承部1上。实际上，图1所示的主要部分与电源部等未图示的其他部分一起收容在未图示的箱体内。图2是表示图1的II-II截面的截面示意图。试样S承载于封堵试样支承部1的贯通孔11的位置。试样支承部1的下侧配置有：X射线照射部3，向承载的试样S照射X射线；准直器2，将来自X射线照射部3的X射线缩小；以及X射线检测器4，检测从试样S产生的荧光X射线。在图2中，用截面简化表示了X射线照射部3和X射线检测器4，X射线照射部3和X射线检测器4实际上由多个部件构成且内部含有空洞。试样支承部1包括基部13以及装拆部12，装拆部12能相对于基部13装拆。基部13和装拆部12上都形成有贯通孔11且呈大体平板状。以封堵贯通孔11的方式覆盖有X射线透射膜14，X射线透射膜14被基部13和装拆部12夹持而被固定。在取下装拆部12的状态下，将X射线透射膜14覆盖在基部13的贯通孔11上，然后将装拆部12安装在基部13上，由此固定X射线透射膜14。贯通孔11和X射线透射膜14对应于X射线透射窗。试样S承载在X射线透射膜14的上侧。X射线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线检测装置，其特征在于，所述X射线检测装置包括：X射线照射部；试样支承部，支承试样，所述试样被来自所述X射线照射部的X射线照射；X射线检测器，检测从所述试样产生的X射线；准直器，具有尺寸不同的多个光圈孔，能进行用于改变X射线通过的所述光圈孔的移动；以及摄像部，取得所述试样支承部支承的所述试样的光学图像，所述准直器具有窗口部，用于所述试样的光学图像的光能通过所述窗口部，并且所述准直器能进行用于将所述窗口部的位置改变到所述摄像部通过所述窗口部能取得所述试样的光学图像的位置的移动。

【技术特征摘要】
2012.04.12 JP 2012-0913111.一种X射线检测装置，其特征在于，所述X射线检测装置包括：X射线照射部；试样支承部，支承试样，所述试样被来自所述X射线照射部的X射线照射；X射线检测器，检测从所述试样产生的X射线；准直器，具有尺寸不同的多个光圈孔，能进行用于改变X射线通过的所述光圈孔的移动；以及摄像部，取得所述试样支承部支承的所述试样的光学图像，所述准直器具有窗口部，用于所述试样的光学图像的光能直线状地通过所述窗口部，并且所述准直器能进行用于将所述窗口部的位置改变到所述摄像部通过所述窗口部能取得所述试样的光学图像的位置的移动。2.根据权利要求1所述的X射线检测装置，其特征在于，所述多个光圈孔和所述窗口部沿一个方向排列，所述准直器能沿所述方向移动。3.根据权利要求2所述的X射线检测装置，其特征在于，所述X射线检测装置还包括：与所述方向平行的轴；以及直线驱动电动机，具有与所述轴平行的驱动轴，沿长边方向直线驱动所述驱动轴，所述轴与所述驱动轴连接，所述准直器与所述轴连接。4.根据权利要求3所述的X射线检测装置，其特征在于，所述X射线照射部的X射线射出的端部、所述X射线检测器的X射线入射的端部以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤智，駒田世志人，中嶋嘉之，
申请(专利权)人：株式会社堀场制作所，
类型：发明
国别省市：