数字全息干涉和变频率投影条纹复合测量系统及方法技术方案

技术编号:9294633 阅读:92 留言:0更新日期:2013-10-30 23:35
本发明专利技术公开了一种数字全息干涉和变频率投影条纹复合测量系统及方法,属于光电测量技术领域,包括一套连续变角度数字全息干涉测量装置或变波长数字全息干涉和一套多步变频率投影条纹测量装置,先利用多步变频率投影条纹测量法对待测物体进行粗测,得到大致的高度范围,再利用连续变角度数字全息干涉测量装置或变波长数字全息干涉对待测物体进行精测,就可以得到物体各点的高度信息,本发明专利技术在测量过程中对待物体各点单独测量,无需相位去包裹的步骤,能够测量形状复杂的、有间断的物体的面型参数,和单独的多步变频率投影条纹测量及连续变角度数字全息干涉或变波长数字全息干涉相比,优点是可以同时达到测量精度高和测量高度变化范围大的要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种数字全息干涉和变频率投影条纹复合测量系统,其特征在于:该复合测量系统包括数字全息干涉测量装置以及条纹产生光学装置,所述数字全息干涉测量装置为连续变角度数字全息干涉测量装置或变波长数字全息干涉测量装置,条纹产生光学装置与数字全息干涉测量装置的计算机相连,利用条纹产生光学装置、数字全息干涉测量装置的CCD摄像机以及所述计算机组成多步变频率投影条纹测量装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:贾书海许勇鲍庆臣
申请(专利权)人:西安交通大学
类型:发明
国别省市:

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