【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板制造装置，包括：测试装置，包括用于在基板上执行测试工艺的测试处理器模块，其中所述测试处理器模块包括：输送单元，用于传送基板；处理器单元，用于在所述基板上的多个单元基板上执行所述测试工艺；以及传送单元，包括传送机器人，用于在所述输送单元和所述处理器单元之间传送所述基板，其中所述输送单元包括：供给输送装置；以及排出输送装置，与所述供给输送装置间隔开。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李永喆，权世民，李镇焕，吴制默，李敬淑，李南泓，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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