用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器制造技术

蜂巢状锥形加热器包括灯罩，其中灯罩具有形成部分圆的外边缘。灯罩具有从灯罩顶面延伸至底面的开口。开口进一步从外边缘延伸至灯罩的中心区域。多个灯被排布为遍及所述灯罩，并被配置为将光发出至灯罩的顶面之外。本发明专利技术还公开了用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种装置，包括：蜂巢状锥形加热器，包括：具有外边缘的灯罩，其中所述外边缘形成部分圆，所述灯罩包括从所述灯罩的顶面延伸至底面的开口，并且所述开口从所述外边缘延伸至所述灯罩的中心区域；以及遍及所述灯罩分布的多个灯，所述多个灯被配置为将光发出至所述灯罩的所述顶面之外。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林逸宏，李志鸿，李启弘，李资良，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：