【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于抽取光刻设备中的两相流体的流体抽取系统，所述流体抽取系统包括：抽取通道，其用于使两相流体流从其中通过；和分离储槽，其与所述抽取通道流体连接，并且被配置用于接收来自所述抽取通道的所述两相流体流，其中，所述抽取通道的壁的至少一部分和/或所述分离储槽的壁的至少一部分包括柔性边界部分，所述柔性边界部分被配置以响应于在其上的压力差的变化发生变形，以便减小所述流体抽取系统中的所述两相流体的压力波动。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：N·R·凯姆皮尔，R·N·J·范巴莱高吉，M·M·P·A·沃姆伦，M·瑞鹏，M·W·范登胡威尔，P·P·J·博克文斯，C·德米特森阿尔，J·M·W·范登温凯尔，C·M·诺普斯，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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