包括气体传感器的集成电路制造技术

技术编号:9275013 阅读:117 留言:0更新日期:2013-10-24 23:00
一种集成电路以及其制造方法。该集成电路包括具有主表面的半导体衬底。该集成电路还包括具有电阻性传感器元件的基于导热性的气体传感器,所述传感器元件位于主表面上以暴露于待感测的气体。该集成电路还包括阻挡部,所述阻挡部位于主表面上以抑制气体经过传感器元件流动。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种集成电路,包括:具有主表面的半导体衬底;具有电阻性传感器元件的基于导热性的气体传感器,所述传感器元件位于主表面上以暴露于待感测的气体;以及阻挡部,所述阻挡部位于主表面上以抑制气体经过传感器元件流动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:奥瑞利·休伯特罗埃尔·达门菲特·恩古耶恩
申请(专利权)人:NXP股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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