用于疏油涂层的直接液体汽化制造技术

本发明专利技术涉及用于通过使用PVD处理在电子装置部件的表面上沉积疏油成分的液体汽化处理。包含疏油成分的原液体材料可被放在与真空室耦接的液体供给系统中。液体供给系统可通过不活泼气体被加压以防止疏油成分与空气之间的不希望的化学反应。包含疏油成分的液体可在到达汽化单元之前汽化，并且，疏油成分可沉积于部件上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·J·韦伯，松雪直人，
申请(专利权)人：苹果公司，
类型：
国别省市：