层压装置及使用它的层压处理系统制造方法及图纸

技术编号：9240660 阅读：114 留言：0更新日期：2013-10-10 04:21

本发明专利技术的目的是提供一种工件的层压处理及搬入搬出时间短效率高、更紧凑且便宜的层压装置及使用它的层压处理系统。本发明专利技术的层压装置具备上部腔室部件（40）、和设置在该上部腔室部件（40）的下方的热板（20），热板（20）是将搬入到热板（20）上的薄板状的工件（W）加热的部件，上部腔室部件（40）能够在从热板（20）离开的上升位置和抵接在热板（20）上而形成腔室空间（S）的下降位置之间接近离开移动，在上部腔室部件（40）的下面侧设置有在热板（20）上被搬入搬出的工件（W）保持的多个臂（44），在热板（20）的上面形成有收存该臂（44）的凹部。