一种r型复合式微纳发电机制造技术

本发明专利技术涉及微加工与微能源领域，具体涉及一种r型复合式微纳发电机，由可从完全释放状态变换为完全压缩状态的两组结构组成，结构一由压电薄膜及压电薄膜两侧的压电薄膜电极组成；结构二由薄膜及在薄膜一侧的电极组成，所述结构二中的薄膜与结构一中的任意一侧的压电薄膜电极相对，本发明专利技术提供的压电摩擦复合式微纳发电机的优点在于：实现了二者的优势互补，实现了高输出电压与高充电能力；将压电微纳发电机置于具有微纳复合结构的摩擦衬底上，通过摩擦产生的电荷影响压电输出，实现了压电性能的提升；摩擦上表面采用具有纳米结构的金属材料，摩擦下表面采用具有微纳复合结构的柔性聚合物材料，提高了表面粗糙度，极大增加了摩擦的有效面积。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种r型复合式微纳发电机，其特征在于:由可从完全释放状态变换为完全压缩状态的两组结构组成，即由结构一和结构二组成；其中，在所述完全释放状态时结构一与结构二仅一端闭合，在所述完全压缩状态时结构一与结构二完全闭合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张海霞，韩梦迪，张晓升，孟博，刘雯，孙旭明，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：