【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种获得低稀释率涂层的激光熔覆方法,其特征在于,该方法是采用高斯分布或近似高斯分布的激光束进行激光熔覆,采用负离焦方式,激光束焦平面位于工件表面下方,具体包括:步骤1:在激光熔覆前,确定激光束焦平面位置;步骤2:将激光束焦平面与工件待加工表面重合后,沿工件待加工表面法线方向移动激光熔覆头,使其靠近工件,确定激光熔覆头的移动距离;步骤3:确定好激光熔覆头位置后,将激光熔覆的侧向送粉喷嘴固定,使激光熔覆的侧向送粉喷嘴对准工件待加工表面激光辐照位置;步骤4:确定激光熔覆的工艺参数,至少包括激光输出功率、激光扫描速度、熔覆粉末的送粉率;步骤5:设置好工艺参数后,激光熔覆头输出激光束,同时激光熔覆头按照设定的扫描速度开始移动,熔覆粉末从侧向送粉喷嘴中喷出,落入激光束辐照区域,熔化并在工件表面形成熔池,随着激光束的移走,熔池快速凝固,形成熔覆涂层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:林学春,高文焱,赵树森,王奕博,刘发兰,周春阳,
申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所,
类型:发明
国别省市:
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