有机EL元件的制造方法和制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源和基材之间来遮蔽基材的遮蔽位置和自蒸镀源和基材之间退避来解除对基材的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，在遮蔽部位于遮蔽位置的状态下，遮蔽部以与基材相同的速度向行进方向移动，在遮蔽部位于遮蔽解除位置的状态下，遮蔽部向与行进方向相反的方向移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：垣内良平，山本悟，肥田加奈子，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：
国别省市：