廉价透明染料敏化太阳能电池对电极及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种廉价透明染料敏化太阳能电池对电极及其制备方法。采用反应磁控溅射法，以氩离子轰击靶材，氮气为反应气体，金属或合金为溅射靶材。反应条件为：氩气流速5～50立方厘米/分钟，功率10～300W，预溅射5～30分钟；通入的氮气流速5～50立方厘米/分钟，溅射时间5～120分钟，转速10～50转/分。制备的电极直接或经过高温(300～500℃)处理用作染料敏化太阳能电池对电极。所制电极具有与铂电极相近或更优的电化学性能和透光性。本发明专利技术具有制备简便、成本低廉、稳定性好等优点，实用价值明显。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种染料敏化太阳能电池用透明对电极，它是以过渡金属或合金和氮气为原料，其特征在于：在惰气气分下使用反应磁控溅射法将过渡金属氮化物直接沉积到透明导电基底上；具体制备工艺：将过渡金属或合金靶材固定到磁控溅射仪上，抽真空至6.665×10?3帕斯卡以下，通入氩气，流速控制为5～50立方厘米/分钟，功率10～300瓦，预溅射5～30分钟；然后，通入氮气，流速为5～50立方厘米/分钟，溅射活性物质到导电基底上，溅射时间5～120分钟，转速10～50转/分，形成活性材料膜；取出，直接用做对电极或经高温处理后用做对电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高学平，李国然，宋健，叶世海，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：