多相传感器制造技术

一种多相传感器，包括由外壳、基座、四个引脚和传感器芯片；四个引脚分别穿过基座上的孔与传感器芯片相连；加热基片层上设有RH电阻，RH电阻电连接于第一引脚与第四引脚之间；第一敏感层上设有RS1电阻，RS1电阻电连接于第三引脚与第四引脚之间；第二敏感层上设有RS2电阻，RS2电阻电连接于第二引脚与第三引脚之间；第三敏感层上设有RS3电阻，RS3电阻电连接于第一引脚与第二引脚之间。本发明专利技术的多相传感器主要用于气体检测，可具体应用于谷物生长分析、食品香气分析、环境质量监测、危险气体预警、矿井下有毒气体的监测、汽车内及室内空气质量的监测等领域，其灵敏度高、选择性好、体积小、测量速度快、测量精度高、使用寿命长的特点，有利于大范围推广。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多相传感器，其特征在于，包括由外壳、基座、第一引脚、第二引脚、第三引脚、第四引脚和传感器芯片；所述基座上设有四个孔；所述第一引脚、所述第二引脚、所述第三引脚和所述第四引脚分别穿过所述基座上的孔与所述传感器芯片相连；所述传感器芯片包括加热基片层、第一敏感层、第二敏感层和第三敏感层，所述加热基片层、所述第一敏感层、所述第二敏感层和所述第三敏感层依层次结构设置于所述传感器芯片上，并相互构成电连接；所述加热基片层上设有RH电阻，所述RH电阻设于所述第一引脚与所述第四引脚之间，并与二者构成电连接；所述第一敏感层上设有RS1电阻，所述RS1电阻设置于所述第三引脚与所述第四引脚之间，并与二者构成电连接；所述第二敏感层上设有RS2电阻，所述RS2电阻设于所述第二引脚与所述第三引脚之间，并与二者构成电连接；所述第三敏感层上设有RS3电阻，所述RS3电阻设置于所述第一引脚与所述第二引脚之间，并与二者构成电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，
申请(专利权)人：张伟，
类型：发明
国别省市：