【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基于两级或多级谐振滤波消除非线性误差的光外差干涉法，其特征在于：该方法包括：在存在着非线性误差干扰成分的光路上，通过分光获得至少3路测量信号和1路参考信号，并使其中至少3路测量信号的各自周期性非线性误差在要被消除的频率成分上的相位角在一个对应的圆周角范围内各不相同；将至少3路测量信号与1路参考信号分别转化为对应至少3路测量模拟电信号与1路参考模拟电信号。将所述至少3路测量模拟电信号的每一路分别进行第一滤波过程及模数转换，对应得到至少3路测量数字电信号；将1路参考模拟电信号进行第二滤波过程及模数转换，对应得到1路参考数字电信号；将所述至少3路测量数字电信号与1路参考数字电信号分别输入对应FFT相位判读模块，计算得到至少3路测量信号相位角与1路参考信号相位角。所述至少3路测量信号相位角与1路参考信号相位角分别进行相位比较和相位差的周期计数，并换算成位移，得到至少3路位移测量结果，此时各路位移测量结果中含有非线性误差；将得到的至少3路位移测量结果进行实数加权运算，再进行加法运算即可得到最终测量结果；所述第一滤波过程采用两级或多级谐振滤波器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李也凡，孙强，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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