硬质合金刀具表面沉积类金刚石膜的方法及硬质合金刀具技术

技术编号:9194340 阅读:168 留言:0更新日期:2013-09-25 23:23
本发明专利技术涉及一种硬质合金刀具表面沉积类金刚石膜的制备方法及表面沉积有类金刚石膜的硬质合金刀具,方法包括超声波清洗硬质合金刀具步骤、离子清洗硬质合金刀具步骤、以及采用射频等离子增强化学气相沉积工艺在硬质合金刀具表面沉积厚度为0.2~0.6μm类金刚石膜步骤。本发明专利技术在硬质合金刀具表面制备DLC膜时具有沉积温度低、工艺流程简单及制得的薄膜附着力强、内应力小等优点,在轻质材料加工方面具有良好的工业应用前景。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硬质合金刀具表面沉积类金刚石膜的方法,其特征在于,包括:S100,超声波清洗硬质合金刀具步骤;S200,离子清洗硬质合金刀具步骤;以及S300,采用射频等离子增强化学气相沉积工艺在硬质合金刀具表面沉积厚度为0.2~0.6μm类金刚石膜步骤。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:汪瑞军李振东詹华吕玉芬王世兴
申请(专利权)人:中国农业机械化科学研究院北京金轮坤天特种机械有限公司
类型:发明
国别省市:

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