【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种动压浮离抛光装置,包括机架、抛光盘和研磨盘,所述抛光盘位于所述研磨盘的上方,所述抛光盘与主轴下端连接,其特征在于:所述抛光装置还包括电容测距模块、伺服微进给模块和动压盘浮离模块,其中,电容测距模块包括安装在主研磨盘上的三个电容传感器;所述伺服微进给模块包括伺服电机、伺服电机安装架、联轴器、丝杠和丝杠螺母,伺服电机通过联轴器与丝杠传动连接,丝杠与所述丝杠螺母配合,丝杠螺母通过螺栓与滑台相连接,所述伺服电机安装在所述伺服电机安装架,所述伺服电机安装架安装在机架上,所述滑台的两端设有滑套,所述滑套可上下滑动地套装在立柱上,所述立柱安装在机架上;所述动压盘浮离模块包括直流电机、 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朴钟宇,徐钉,文东辉,王扬渝,
申请(专利权)人:浙江工业大学,
类型:发明
国别省市:
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