一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备制造技术

一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，包括模块化单台分离机，分离液罐体，压滤机，二次回收液罐；其中：模块化单台分离机的出液口通过管道与分离液罐体的进口连接，分离液罐体的出口通过管道与压滤机的进口连接，压滤机的出口通过管道与二次回收液罐连接。所述的压滤机内部带有膜过滤装置。本实用新型专利技术的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。分离效果好，小颗粒杂质去除率达95%以上。回收液的回收率达90%以上，有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，包括模块化单台分离机（1），分离液罐体（2），压滤机（3），二次回收液罐（4）；其中：模块化单台分离机（1）的出液口通过管道与分离液罐体（2）的进口连接，分离液罐体（2）的出口通过管道与压滤机（3）的进口连接，压滤机（3）的出口通过管道与二次回收液罐（4）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，刘铁英，
申请(专利权)人：张磊，刘铁英，
类型：实用新型
国别省市：