阻气性塑料成型体的制造方法技术

本发明专利技术的目的为提供一种阻气性塑料成型体的制造方法，其仅使用高安全性的原料气，利用发热体CVD法在塑料成型体的表面上形成实质上无色且具有阻气性的阻气薄膜。本发明专利技术涉及的阻气性塑料成型体的制造方法是在塑料成型体(91)的表面上形成阻气薄膜(92)的阻气性塑料成型体(90)的制造方法，其具有成膜工序，所述成膜工序使用以通式(化学式1)所表示的有机硅烷系化合物作为主要原料气、使用氧化气体作为添加气并且使用包含钽(Ta)作为主要组成元素的发热体，利用发热体CVD法在塑料成型体的表面上形成阻气薄膜(92)。(化学式1)H3Si-Cn-X，在化学式1中，n为2或3；X为SiH3、H或NH2。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中谷正树，泷口绿，清水真里，佐藤爱子，田渕博康，松井荣太朗，
申请(专利权)人：麒麟麦酒株式会社，
类型：
国别省市：