一种锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器及其制备方法技术

一种锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。在基底上从下向上依次是微纳波导结构的锗镓碲硫卤玻璃薄膜和金属纳米颗粒层。依次采用倒置熔融旋涂法、加热气压印法和溶液法制备锗镓碲硫卤玻璃薄膜，在薄膜表面涂覆无序金纳米颗粒，再制备薄膜微纳波导结构，本发明专利技术硫卤玻璃微纳结构探测器结构简单，对环境污染小，探测品种多，探测准确性高，制备工艺简单，成本低廉，重复性好，效率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种锗镓碲硫卤玻璃微纳波导结构中红外传感器，其特征在于，是在基底上从下向上依次是微纳波导结构的锗镓碲硫卤玻璃薄膜和金属纳米颗粒层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽，苏雪琼，王荣平，张新平，刘红梅，鲁毅，甘渝林，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：