【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种管式炉外延系统，包括：反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统；其中：所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接；所述真空系统与反应管的排气端密封连接；所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计，压强控制阀设置于混气箱的出气口上并通过压强控制电路与压强计相连，压强计设置于反应管的排气端侧，以测量反应管的压强。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴以治，许小亮，王武翟，王会杰，郁菁，杨亮亮，王子文，蔡家琦，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：
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