切割/芯片接合薄膜制造技术

技术编号:9166224 阅读:139 留言:0更新日期:2013-09-19 15:03
提供一种切割薄膜与芯片接合薄膜之间的成分迁移受到抑制、并且切割时的半导体晶圆保持力和拾取时的剥离性优异的切割/芯片接合薄膜。本发明专利技术的切割/芯片接合薄膜具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种切割/芯片接合薄膜,其具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:田中俊平土生刚志龟井胜利
申请(专利权)人:日东电工株式会社
类型:发明
国别省市:

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