放射线图像变换面板及其制造方法和放射线图像检测装置制造方法及图纸

为了提高放射线图像变换面板的强度，在放射线图像变换面板2中，设置有包含由于放射线照射发出荧光的荧光物质的荧光体18，该荧光体包括柱状部34和非柱状部36，该柱状部34由通过所述荧光物质的晶体的柱状生长而形成的柱状晶体的群形成，并且该柱状部和非柱状部被一体化地形成以在该柱状晶体的晶体生长方向上重叠，并且该非柱状部沿着晶体生长方向的厚度在该非柱状部的至少一部分的区域中是不均匀的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线图像变换面板及其制造方法和放射线图像检测装置
本专利技术涉及一种放射线图像变换面板、一种该放射线图像变换面板的制造方法和一种设置有该放射线图像变换面板的放射线图像检测装置。
技术介绍
最近已经实际地使用检测放射线图像的平面板检测器（FPD）来产生数字图像数据的放射线图像检测装置。该放射线图像检测装置与常规摄影板相比可以立即确认图像，并且因此已经被迅速地普及。存在各种类型的放射线图像检测装置，并且作为所述放射线图像检测装置中的一种，器件的间接变换方式是已知的。放射线图像检测装置的间接变换方式设置有放射线图像变换面板和具有二维阵列的光电变换器件的传感器面板，其中，所述放射线图像变换面板具有由通过放射线曝光发出荧光的诸如CsI或GOS（Gd2O2S）的荧光物质形成的闪烁体。通常，放射线图像变换面板和传感器面板被接合，使得闪烁体与二维阵列的光电变换器件紧密接触。经过被摄体的放射线首先由放射线图像变换面板的闪烁体变换成光，然后，闪烁体的荧光由传感器面板的光电变换器件的群光电地变换以产生电信号（数字图像数据）。关于放射线图像检测装置的间接变换方式，已经建议所谓的表面读数类型的放射线图像检测装置（ISS：照射侧采样），其中，放射线被允许从传感器面板侧入射（例如，参见专利文献1和2）。根据放射线图像检测装置，从在传感器面板附近的闪烁体发出的荧光量增加，从而提高灵敏度。这可以减少检测放射线图像所需的曝光量，从而减少被摄体的曝光剂量。另外，已知通过气相沉积方法由柱状晶体的群形成闪烁体的技术以便提高灵敏度，其中，柱状晶体通过在支持体上的诸如CsI的荧光物质的晶体的柱状生长而获得（例如，参见专利文献3）。通过气相沉积方法形成的柱状晶体不包括诸如粘合剂的杂质，并且还具有沿晶体的生长方向引导从柱状晶体发出的荧光的光导效应，从而抑制荧光的散射。因此，可以实现在放射线图像检测装置的灵敏度和图像的清晰度上的提高。此外，为了提高设置有包括柱状晶体的群的闪烁体的放射线图像变换面板的特性，已经提出各种建议。例如，在专利文献3中描述的放射线图像变换面板，包括荧光物质的球形晶体的群的非柱状部被形成在闪烁体的支持体侧处，并且包括柱状晶体的群的柱状部被形成在非柱状部上。由于非柱状部被置于支持体与柱状部之间，所以实现闪烁体与支持体的粘接上的改善。另外，通过在非柱状部中的光反射，可以实现荧光的利用效率的提高并且因此灵敏度的提高。引用列表专利文献专利文献1:JP-B-3333278专利文献2:JP-A-2001-330677专利文献3:JP-A-2005-69991
技术实现思路
技术问题从在非柱状部中的光反射的观点来看，构成非柱状部的晶体可以优选地具有小直径横截面和球形形状。然而，构成非柱状部的许多晶体可以与相邻的晶体集合，以便形成不定形的集合体。因此，构成非柱状部的许多晶体（或包括非晶部）可以不仅在厚度方向上而且还在面内方向上相互部分地融合。构成柱状部的各个柱状晶体关于这样的不定形的集合体的一部分的核心生长。在这样的情况下，具有相对小直径的柱状晶体以初始生长而生长。然后，随着生长继续，多个相邻的柱状晶体相互集合，从而形成具有大直径的一个柱状晶体。柱状部与非柱状部的接合部林立有相对小直径的柱状晶体，导致在所述柱状部与非柱状部之间的许多间隙，并且该接合部抵抗由冲击尤其是剪力作用的应力是非常微弱的。特别地，在专利文献3中描述的闪烁体是累积荧光体，并且作为使用这样的闪烁体的放射线图像检测装置的一个示例的计算的射线照相（CR）盒是相对轻的。然而，作为使用FPD的放射线图像检测装置的一个示例，数字射线照相（DR）盒是一般安装有诸如TFT基板或驱动电路的各种电子部件，并且因此是相对沉重的，并且其跌落冲击高于CR盒。因此，对闪烁体的保护变得重要。考虑到上述问题，已经完成了本专利技术，并且本专利技术的目的是提高放射线图像变换面板的强度。问题的解决办法（1）一种设置有包含通过放射线曝光发出荧光的荧光物质的荧光体的放射线图像变换面板，其中，所述荧光体包括柱状部和非柱状部，所述柱状部由通过所述荧光物质的晶体的柱状生长而获得的柱状晶体的群形成，所述柱状部和所述非柱状部被一体化地形成以在所述柱状晶体的晶体生长方向上重叠，并且所述非柱状部沿着所述晶体生长方向的厚度在所述非柱状部的至少一部分的区域中是不均匀的。（2）一种制造（1）的放射线图像变换面板的方法，其中，所述非柱状部和所述柱状部通过气相沉积方法将荧光物质的晶体沉积在支持体上而以该顺序形成于支持体上，其中，当所述非柱状部被形成时，所述荧光物质的晶体通过改变真空度而沉积在所述支持体上。（3）一种设置有（1）的放射线图像变换面板和传感器面板的放射线图像检测装置，所述传感器面板检测从所述放射线图像变换面板产生的荧光并且将所述荧光变换成电信号。专利技术的有利效果根据本专利技术，在所述非柱状部的至少一部分的区域中，厚度是不均匀的，并且所述柱状部与所述非柱状部之间的接合部在平面方向上是不平坦的。因此，可以提高抵抗诸如剪切力的应力的抵抗力，从而提高放射线图像变换面板的强度。附图说明图1是示意性地示出根据本专利技术的一个示例性实施例的放射线图像检测装置的构成的视图。图2是示意性地示出图1的放射线图像检测装置的传感器面板的构成的视图。图3是示意性地示出图1的放射线图像检测装置的放射线图像变换面板的构成的视图。图4是示出图3的放射线图像变换面板的荧光体的IV-IV横截面的视图。图5是示出图3的放射线图像变换面板的荧光体的V-V横截面的视图。图6是示意性地示出图3放射线图像变换面板的修改后的示例的视图。图7是示意性地示出根据本专利技术的另一个示例性实施例的放射线图像检测装置的构成的视图。具体实施方式图1示出根据本专利技术的一个示例性实施例的放射线图像检测装置的构成，并且图2示出图1的放射线图像检测装置的传感器面板的构成。放射线图像检测装置1设置有放射线图像面板2和传感器面板3，该放射线图像面板2包括通过放射线曝光而发出荧光的闪烁体18（荧光体），该传感器面板3包括光电变换器件26的二维阵列，该光电变换器件26的二维阵列光电地变换放射线图像面板2的闪烁体18的荧光。放射线图像面板2包括支持体11，闪烁体18形成在该支持体11上。放射线图像面板2被构成为从传感器面板3分离，并且经由树脂层接合到传感器面板3，其中，树脂层允许闪烁体18被光耦合到光电变换器件26，而在闪烁体18的在与支持体11相反侧处的表面面对传感器面板3的光电变换器件26的二维阵列。在本示例性实施例中，放射线从传感器面板3侧被照射，通过传感器面板3被传输并且入射到闪烁体18上。放射线入射到其上的闪烁体18产生荧光，并且所产生的荧光由传感器面板3的光电变换器件26进行光电变换。在像上述构成那样的放射线图像检测装置1中，产生大量荧光的闪烁体18的放射线进入侧被设置成与光电变换器件26相邻，从而提高灵敏度。传感器面板3具有包括由在绝缘性基板上的薄膜晶体管（TFT）形成的开关器件28，并且光电变换器件26的二维阵列被形成在TFT基板16上。被构成为覆盖光电变换器件26和平坦化TFT基板16的表面的平坦化层23被形成在TFT基板16上。被构成为将放射线图像面板2接合到传感器面板3的粘接层25被形成在平坦化层23本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.12.27 JP 2010-2913901.一种设置有包含通过放射线曝光发出荧光的荧光物质的荧光体的放射线图像变换面板，其中，所述荧光体包括柱状部和非柱状部，所述柱状部由通过荧光物质的晶体的柱状生长而获得的柱状晶体的群形成，所述柱状部和所述非柱状部被以所述非柱状部和所述柱状部的次序一体化地形成在支持体上，以在所述柱状晶体的晶体生长方向上重叠，所述非柱状部沿着所述晶体生长方向的厚度在所述非柱状部中各处是不均匀的，所述非柱状部的中心区域中的最大厚度与最小厚度之间的差小于在所述非柱状部的周边区域中的最大厚度与最小厚度之间的差，构成非柱状部的各个晶体的直径是0.5μm或以上并且7.0μm或以下，非柱状部的晶体不规则地重叠，并且其一些晶体在厚度方向或面内方向上相互融合，以及所述非柱状部包括非晶部分。2.根据权利要求1所述的放射线图像变换面板，其中，所述非柱状部的厚度分布在5μm或以上并且125μm或以下的范围内。3.根据权利要求1所述的放射线图像变换面板，其中，所述非柱状部被形成为包括通过使所述荧光物质的晶体以大致球形生长而获得的球形晶体的群，其中，所述球形晶体的群的至少一部分在平行于所述支持体的表面的方向上被融合。4.一种用于制造权利要求1所述的放射线图像变换面板的方法，其中，所述非柱状部和所述柱状部通过气相沉积方法将所述荧光物质的晶体沉积在所述支持体上而以该顺序形成于所述支持体上，其中，当所述非柱状部被形成时，所述荧光物质的晶体通过改变真空度而沉积在所述支持体上。5.一种设置有根据权利要求1所述的放射线图像变换面板以及传感器面板的放射线图像检测装置，所述传感器面板检测从所述放射线图像变换面板产生的荧光并且将所述荧光变换成电信号。6.根据权利要求5所述的放射线图像检测装置，其中，所述放射线图像变换面板和所述传感器面板彼此接合，使得所述荧光体的柱状部侧的表面面对所述传感器面板。7.根据权利要求6所述的放射线图像检测装置，其具有在传感器面板侧的放射线进入表面。8.根据权利要求6所述的放射线图像检...

【专利技术属性】
技术研发人员：金子泰久，中津川晴康，佐藤圭一郎，北田信，三浦圭，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：
国别省市：