用于半导体器件的栅极结构制造技术

描述了一种半导体器件及其制造方法，该半导体器件包括具有鳍片的衬底，该鳍片具有顶面以及第一横向侧壁和第二横向侧壁。硬掩模层可以形成在鳍片的顶面上(例如，提供双栅极器件)。栅极介电层和功函数金属层形成在鳍片的第一横向侧壁和第二横向侧壁上。硅化物层形成在位于鳍片的第一横向侧壁和第二横向侧壁上的功函数金属层上。硅化物层可以是完全硅化层并且可以对设置在鳍片中的器件的沟道区提供应力。本发明专利技术提供用于半导体器件的栅极结构。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体器件，包括：衬底，包括第一鳍片，其中，所述第一鳍片包括顶面以及第一横向侧壁和第二横向侧壁；硬掩模层，形成在所述第一鳍片的所述顶面上；栅极介电层，形成在所述硬掩模层以及所述第一鳍片的所述第一横向侧壁和所述第二横向侧壁上；功函数金属层，形成在位于所述第一鳍片的所述第一横向侧壁和所述第二横向侧壁上的所述栅极介电层上；以及硅化物层，形成在位于所述第一鳍片的所述第一横向侧壁和所述第二横向侧壁上的所述功函数金属层上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李宗霖，袁锋，叶致锴，赖韦仁，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：