粘接带粘贴方法和粘接带粘贴装置制造方法及图纸

技术编号:9144438 阅读:156 留言:0更新日期:2013-09-12 05:48
本发明专利技术提供一种粘接带粘贴方法和粘接带粘贴装置,将粘接带供给到环形框的背面侧,用粘贴辊粘贴,使切刀沿着环形框旋转而切断粘接带。之后,使检查机构的检查环在环形框的内周附近接触并吸引粘接带。基于此时的吸引压力的变化,判断有无粘接带的剥离。在检测到粘接带自环形框剥离的情况下,用设于切刀机构上的粘贴辊进行粘接带的再粘贴。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种将支承半导体晶圆的粘接带粘贴在环形框上的粘接带粘贴方法,上述方法包括以下的过程:将粘接带供给到上述环形框的背面侧的带供给过程;将供给来的上述粘接带粘贴到环形框的背面的带粘贴过程;将粘贴了的上述粘接带沿着环形框切断的带切断过程;检查粘接带自上述环形框剥离与否的检查过程;在上述检查过程中,使传感器沿着环形框移动,测量传感器到粘接带的距离,通过比较该测量结果和预先确定的标准值来检测粘接带的剥离。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:山本雅之石井直树
申请(专利权)人:日东电工株式会社
类型:发明
国别省市:

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