【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种感光性树脂组合物,其特征在于包括:(A)聚合物成分,在同一聚合物或不同的聚合物中包含(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的重复单元,(a2)含有选自环氧乙烷基、氧杂环丁基、或?NH?CH2?OR(R为碳数为1~20的烷基)中的交联性基的重复单元,及(a3)侧链末端具有羧基、且将聚合物主链与所述羧基加以连结的二价的连结基的原子数为4以上的重复单元;(B)光酸产生剂;以及(D)溶剂;且所述二价的连结基为选自?CR12?(R1表示氢原子或甲基)、?O?、?O?SO2?、?O?C(O)?、?C(O)?O?、?S?、?C(O)?、可具有取代基的氨基、可具有取代基的亚苯基、或下述(iv)的结构且任意地组合的基;式(iv)中,z表示0~5的整数。FDA00002864025000011.jpg
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:下野胜弘,山﨑健太,川岛敬史,霜山达也,汤本真敏,山田悟,柏木大助,
申请(专利权)人:富士胶片株式会社,
类型:发明
国别省市:
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