【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜、其制备方法、薄膜电致发光器件及其制备方法。
技术介绍
薄膜电致发光显示器(TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,已引起了广泛的关注,且发展迅速。目前,研究彩色及至全色TFELD,开发多波段发光的材料,是该课题的发展方向。但是,可应用于薄膜电致发光显示器的镨掺杂钛酸盐发光薄膜,仍未见报道。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种可应用于薄膜电致发光器件的镨掺杂钛酸盐发光薄膜、其制备方法、使用该镨掺杂钛酸盐发光薄膜电致发光器件及其制备方法。一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜,该镨掺杂钛酸盐发光薄膜的化学表达式为MeTi1-xO3:xPr3+,其中MeTi1-xO3是基质,Pr元素是激活元素,0.01≤x≤0.08,Me为Mg、Ca、Sr或Ba;在更优选实施例中,所述镨掺杂钛酸盐发光薄膜的厚度为80nm~300nm。一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法,包括以下步骤:将衬底装入化学气相沉积设备的反应室,并将反应室的真空度设置为1.0×10-2Pa~1.0×10-3Pa;调节衬底的温度为250℃~650℃,转速为50转/分钟~1000转/分钟,在氩气气流的载体下,根据MeTi1-xO3:xPr3+各元素的化学计量比将(DPM)2Me,四异丙醇钛和Pr(DPM)3通入反应室内;及然后通入氧气,进行化学气相沉 ...
【技术保护点】
一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜,其特征在于:其化学表达式为MeTi1?xO3:xPr3+,其中MeTi1?xO3是基质,Pr元素是激活元素,0.01≤x≤0.08,Me为Mg、Ca、Sr或Ba。
【技术特征摘要】
1.一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜,其特征在于:其化学表达式为MeTi1-xO3:xPr3+,其中MeTi1-xO3是基质,Pr元素是激活元素,0.01≤x≤0.08,Me为Mg、Ca、Sr或Ba。
2.根据权利要求1所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜,其特征在于,所述镨掺杂钛酸盐发光薄膜的厚度为80nm~300nm。
3.一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将衬底装入化学气相沉积设备的反应室,并将反应室的真空度设置为1.0×10-2Pa~1.0×10-3Pa;
调节衬底的温度为250℃~650℃,转速为50转/分钟~1000转/分钟,在氩气气流的载体下,根据MeTi1-xO3:xPr3+各元素的化学计量比将(DPM)2Me,四异丙醇钛和Pr(DPM)3通入反应室内;及
通入氧气,进行化学气相沉积得到化学表达式为MeTi1-xO3:xPr3+的镨掺杂钛酸盐发光薄膜,其中MeTi1-xO3是基质,Pr元素是激活元素,0.01≤x≤0.08,Me为Mg、Ca、Sr或Ba。
4.根据权利要求3所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法,其特征在于,所述(DPM)2Me,四异丙醇钛和Pr(DPM)3的摩尔比为1∶(0.92~0.99)∶(0.01~0.08)。
5.根据权利要求3所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法,其特征在于,所述氩气气流量为5~15sccm,所述氧气气流量为10~200sccm。
6.根据权利要求3所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法,其特征在于,将所述衬底装入所述反应室后将所述衬底在600℃~8...
【专利技术属性】
技术研发人员:周明杰,王平,陈吉星,黄辉,
申请(专利权)人:海洋王照明科技股份有限公司,深圳市海洋王照明技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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