一种离面静电驱动器及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种低驱动电压MEMS梳齿式离面静电驱动器结构及其制备方法，本发明专利技术的驱动器结构包括固定电极、可动电极、锚点、组合扭转梁、驱动输出部分和信号引出焊盘；所述固定电极为固定在基片上的梳齿式电极；所述可动电极为连接到所述驱动输出部分的梳齿式电极；所述组合扭转梁，包括两组折叠扭转梁和一个支架横梁，悬浮固定在基片上。本发明专利技术通过采用扭转组合梁，将角位移转化为线位移，不但可以实现低驱动电压下的大行程离面运动，也可以抑制静电拉入效应的影响，提高驱动器的可靠性。本发明专利技术工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可以实现与其他微光机电系统集成。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种低驱动电压MEMS梳齿式离面静电驱动器结构，其特征在于：它包括基片、固定电极、可动电极、锚点、组合扭转梁、驱动输出部分和信号引出焊盘；所述固定电极为固定在基片上的梳齿式电极；所述可动电极为连接到所述驱动输出部分的梳齿式电极；所述组合扭转梁，包括两组折叠扭转梁和一个支架横梁，悬浮固定在基片上；所述折叠扭转梁为多个扭转横梁(即可扭转的窄梁)通过首尾相连的方式折叠而成；所述支架横梁为连接两组所述折叠扭转梁的通梁；第一组所述折叠扭转梁的一端连接基片，另一端所述支架横梁；第二组所述折叠扭转梁的一端连接所述支架横梁，另一端连接所述驱动输出部分。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王建坤，杨振川，闫桂珍，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：