【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种波束监视系统，其特征在于，具备：收集电极，具有多个线电极，检测通过的带电粒子束；信号处理装置，取得从所述线电极输出的检测信号进行信号处理；以及波束监视器控制装置，基于来自所述信号处理装置的处理信号，求出通过了所述线电极的带电粒子束的位置和波宽，所述收集电极由将相邻的多个所述线电极作为一个组的多个组构成，所述信号处理装置通过与属于所述组的线电极相同数目的配线与所有的所述线电极连接，以便从同一配线输入从各个所述组选择的一个线电极输出的检测信号，所述信号处理装置求出用于表示输入的检测信号是属于哪个组的线电极的检出信号的组信息，将包含所述组信息的所述处理信号输出到所述波束监视器控制装置。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岩本朋久，堀能士，松下尊良，森山国夫，田所昌宏，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：
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