【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光学元件调节座，其特征在于，包括：?控制所述光学元件俯仰的第二弹性板，包括：?第二固定端；?第二活动端，位于所述第二固定端上方，与所述第二固定端通过水平方向延伸的槽隔开，且两者通过位于背面的背筋相连接，该第二活动端分为两部分，其远离背面的第二部分的中部开设顶孔，该顶孔为螺纹孔；?第二螺纹顶杆，其顶部与所述第二活动端第二部分的顶孔相匹配，其底部削尖，与位于其下的第二固定端相抵接；?控制所述光学元件水平方向角度的第一弹性板，包括：?第一固定端，固定于所述第二弹性板第二活动端靠近背面的第一部分，其远离所述光学元件的侧面开设顶孔，该顶孔为螺纹孔；?第一活动端，位于该第一固定端一侧，与所述第一固定端通过竖直方向延伸的槽隔开，且两者通过位于背面的背筋相连接，所述光学元件固定于所述第二弹性板的第一活动端；?第一螺纹顶杆，其顶部与所述第一固定端的顶孔相匹配，其底部削尖，与所述第一活动端相抵接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林学春，鄢歆，张志研，李梦龙，晏诗恋，于海娟，侯玮，徐贵昌，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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