【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS微加热器互联基板，其特征在于，所述MEMS微加热器互联基板包括：衬底(1)、绝缘层(2)、加热电阻(3)、第一隔离层(4)、热沉(5)、第二隔离层(6)、互联层(7)、弹簧(8)及边框(9)；其中，在衬底(1)上形成绝缘层(2)；在绝缘层(2)上形成加热电阻(3)；在加热电阻(3)上形成第一隔离层(4)，加热电阻(3)镶嵌在第一隔离层(4)的下表面；在第一隔离层(4)上形成热沉(5)；在热沉(5)上形成第二隔离层(6)；在第二隔离层(6)上互联层(7)；在衬底(1)的四周设置弹簧(8)；在弹簧(8)的外围设置边框(9)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张威，江少波，苏卫国，邓康发，郑焕，夏文，万松，李雷，朱宁莉，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：
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