【技术实现步骤摘要】
一种波纹膜片支承工作台，属於弹性支承工作台。已有的弹性支承工作台中，如日本专利昭和61－270044提到的用四根钢丝支承的工作台和日本昭和59－64240提到的用一块长方形六面体(钢或其他弹性材料)上开槽和打孔，形成平行弹性簧片式的弹性支承工作台，它们的最大缺点是存在原理误差(如簧片变形时产生弧形运动轨迹)，故精度低，而且结构复杂，不易制造。本技术的目的是提供一种波纹膜片弹性支承工作台，它相对於由四根钢丝或一块长方形六面体上开槽和打孔组成的弹性支承工作台无原理误差，精度高的优点，而且结构简单，易於制造。本技术由框架、若干波纹膜片和工作台板组成，工作台板固定在若干波纹膜片之间，若干波纹膜片固定在框架上。工作时，推动工作台板，工作台板就沿波纹膜片垂直方向移动。上述的波纹膜片的截面形状可以由弧形、三角波形和正弦波形等组成，还可以在波纹膜片上均布打孔。本技术由於采用波纹膜片，消除了工作时的原理误差，因此具有精度高、结构简单等优点。此外利用本波纹膜片支承工作台，可以组成一维或多维运动的工作台，也可以组成纵向、竖向的弹性支承的多维测量工作台，而且，也可以将数个波纹膜片串...
【技术保护点】
波纹膜片支承工作台，属於弹性支承工作台，它包括框架４，工作台板５，波纹膜片１、２、３。其特征在於波纹膜片１、２、３固定在框架４上，工作台板５固定在波纹膜片１、２、３之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴锡其，
申请(专利权)人：上海第二工业大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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