【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种线阵式超大口径平面光学元件面形检测装置，其特征在于，包括DVD/CD光学头线阵（1）、光学头线阵的恒流驱动子系统（2）、FES信号采集子系统（3）、一维运动平台（4）及导轨运动误差测量子系统（5）、面形检测控制与处理子系统（6）；DVD/CD光学头线阵（1）用于检测被测区域的面形；光学头线阵的恒流驱动子系统（2）用于给光学头线阵提供稳定的电流驱动，以确保光学头中激光器的输出功率恒定；FES信号采集子系统（3）用于实时采集DVD/CD光学头线阵（1）所检测区域的面形高差；一维运动平台（4）用于驱动DVD/CD光学头线阵（1）做一维扫描运动，以全口径扫描被测光学元件；导轨运动误差测量子系统（5）用于实时测量一维运动平台（4）在运动过程中的左右偏摆和上下俯仰等运动误差；面形检测控制与处理子系统（6）用于对DVD/CD光学头线阵（1）的扫描运动控制、信号采集、面形重构与绘制。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范勇，陈念年，巫玲，王俊波，杨程，张劲峰，
申请(专利权)人：西南科技大学，
类型：发明
国别省市：
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