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一种基于飞秒激光技术的QCM晶振片修频方法技术

技术编号:9082930 阅读:313 留言:0更新日期:2013-08-28 19:00
本发明专利技术涉及一种频率修正方法,一种基于飞秒激光技术的QCM晶振片修频方法。本发明专利技术通过采用飞秒激光作用晶振片表面去除表面上难以用一般化学方法去除的镀膜或其它物质,从而使晶振片重新工作在标准频率下,保证测量精度,延长晶振片的使用次数。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于飞秒激光技术的QCM晶振片修频方法,其特征在于:首先将激光泵浦源产生的激光光源引入飞秒激光器的谐振腔,经过谐振和放大后产生并输出飞秒激光,获得的飞秒激光经过全反射镜反射后改变路径方向,经过衰减镜将飞秒激光能量衰减,再穿过开启的光闸,然后通过聚焦镜,最后作用在晶振片表面上;晶振片表面的金薄膜及其上附着的杂质在飞秒激光的作用下局部形成等离子体或气体,并脱离晶振片表面,使晶振片等效质量减小;清理结束后关闭光闸和激光泵浦源。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:丁建宁坎标高杰董蓉李凯
申请(专利权)人:常州大学
类型:发明
国别省市:

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