【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板清洗装置，包括水箱，与所述水箱相连的水泵，与所述水泵相连的多个喷嘴，所述多个喷嘴的流出流体喷淋于基板，其特征在于，还包括设置于所述基板清洗装置内的用于在流体流出所述多个喷嘴之前对流体进行加热的加热器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张毅，翁铭廷，郭知广，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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