【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种压电探测梁,其特征是,包括悬臂梁(21)、压电应变感知片(22)、压电激振片(23)和探针(24);其中,悬臂梁(21)的一端为自由端,设置有探针(24);压电应变感知片(22)位于悬臂梁(21)的上表面;压电激振片(23)位于悬臂梁(21)的下表面;探针(24)为柱体,其头部为球状或球面,并垂直于悬臂梁(21),安装在自由端;压电激振片(23)在交变信号激振下产生振动,压电激振片(23)振动之后带动所述的压电探测梁与样品发生接触振动;压电应变感知片(22)测量所述压电探测梁的振动应变信号。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:李法新,付际,李应卫,周锡龙,孙瑶,
申请(专利权)人:北京大学,
类型:发明
国别省市:
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