本实用新型专利技术的可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，激光谐振腔、双声光Q开关、两个LD侧面泵浦模块、90°旋光晶体、二倍频晶体、凸透镜组、四倍频晶体、二向色镜组、柱面镜和控制系统，激光器在泵浦下进行腔内二倍频的情况下可产生高功率、高重频的532nm绿激光运转，进而经腔外四倍频方法，可以产生266nm的准连续紫外激光输出。本实用新型专利技术所要解决的技术问题是提供一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，更好的满足实际应用的需求。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光器
，特别是涉及一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器。
技术介绍
激光加工是激光产业的重要应用，与常规的机械加工相比，激光加工更精密、更准确、更迅速。这种技术是利用激光束与物质相互作用的特性对包括金属与非金属的各种材料进行加工，涉及到了焊接、切割、打标、打孔、热处理、成形等多种加工工艺。激光独一无二的特性使之成为材料精细加工的理想工具，目前广泛应用于微电子、微机械和微光学加工三大领域。近年来，随着小型电子产品和微电子元器件需求量的日益增长，对于加工材料的精密处理日渐成为激光在工业应用中发展最快的领域之一。脉冲紫外激光器主要应用于:紫外固化、激光划线、激光打标、激光微加工、晶圆检测、光谱、氧化物去除、激光剥线。266nm紫外激光与波长较长的激光比较，在微加工方面，266nm紫外激光有着独有的优点。红外和可见光波段的激光加工材料过程基本是“热”加工过程，即靠聚焦使能量集中材料待加工部分加热来熔化或汽化材料来进行微加工。可是这种方式加热导致四周热响应部分严重的损坏，这会严 重影响到加工的效果与质量。紫外激光加工是属于“冷”加工，即可以直接破坏物质原子的化学键，将物质分离成原子的过程，对周围的区域破坏性很小。紫外激光“冷”加工特性，使266nm紫外激光器成为加工薄橡胶和塑料等非常脆弱物质首选。由于衍射现象，激光的波长与会聚光斑的最小直径成正比，266nm激光波长更短,意味着空间分辨率越高，可以获得更小的聚焦光斑，这使得266nm激光可以加工极其微小的部件。不但如此，由于许多玻璃和非线性晶体材料对于紫外激光(300nm以下)吸收作用都非常强，但是这种吸收效果是近红外以及可见光波段的激光达不到的，这使得紫外激光器可以应用得更广。在一些加工精度要求严格的微加工，例如集成电子线路板钻微孔，微孔直径小于100 μ m要求精度达微米量级，这就需要精细加工能力的紫外激光器进行加工。266nm紫外激光器广泛应用的微加工领域还有薄膜和薄片材料中产生微小通道、进行精密切割以及对接、印刷电路基板的微加工等方面。紫外激光器由于其波长更短、能量更集中、分辨率更高等优点而在许多领域具有长波长激光器不能替代的优势。在特殊材料加工上，紫外激光相对于红外激光，加工边沿更光滑、效率更高。对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说，紫外激光在加工中也具有明显的优势。例如在工业领域，266nm紫外激光刻印有效避免了红外激光的严重破坏性，使加工物件保持完美，并且可以对可见光和红外激光吸收效果比较弱的某些晶体和玻璃进行加工。功率在0.2 10W、重复频率在15 IOOkHz的266nm调Q激光器可应用于立体光刻、硅片打标、硅片切割等领域；功率在0.5 2W、重复频率在15 IOOkHz的266nm调Q激光器可应用于钻探、打标、检测、晶片加工等领域；而功率在0.2 4W的266nm调Q激光器在印刷电路板(PCB )直接雕刻、印刷、FBG的产生、箔切削等领域有广泛的应用等。因此，当下需要迫切解决的一个技术问题就是:如何能够创新的提出一种有效的措施，以满足实际应用的需求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，更好的满足实际应用的需求。为了解决上述问题，本技术公开了一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，包括:激光谐振腔(I)、第一声光Q开关(2a)、第二声光Q开关(2b)、第一 LD侧面泵浦模块(3a)、第二 LD侧面泵浦模块(3b)、90°旋光晶体(4)、二倍频晶体(5)、凸透镜组(6)、四倍频晶体(7)、二向色镜组(8)、柱面镜(9)和控制系统(10)，其中，所述第一声光Q开关(2a)和第二声光Q开关(2b)分别在第一 LD侧面泵浦模块(3a)和第二 LD侧面泵浦模块(3b)两侧正交放置,第一声光Q开关(2a)、第二声光Q开关(2b)、第一 LD侧面泵浦模块(3a)、第二 LD侧面泵浦模块(3b)和90°旋光晶体(4)位于所述激光谐振腔(I)内，且对称放置，二倍频晶体(5)位于激光谐振腔(I)内紧邻输出端镜放置，所述凸透镜组(6)、四倍频晶体(7)、二向色镜组(8)和柱面镜(9)在激光谐振腔(I)外依次按照光路输出方向共线放置，所述控制系统(10)与所述第一声光Q开关(2a)、第二声光Q开关(2b)、第一 LD侧面泵浦模块(3a)和第二 LD侧面泵浦模块(3b)连接，激光器在泵浦下进行腔内二倍频时产生高功率、高重频的532nm绿激光运转，进而经腔外四倍频方法，可以产生266nm的准连续紫外激光输出。进一步地，所述第一 LD侧面泵浦模块(3a)、第二 LD侧面泵浦模块(3b)和采用两个相同的808nmLD侧面泵浦模块，两个相同的Nd = YAG晶体棒作为激光增益介质，通过串接方式连接实现对应波长为1064nm的基频光振荡。进一步地，所采用的居中放置在第一 LD侧面泵浦模块和第二 LD侧面泵浦模块之间，实现热致双折射补偿的90°旋光晶体(4)，采用两个正透镜组成的4f系统和90°旋光晶体共同进行热致双折射效应补偿。进一步地，所述二倍频晶体(5)是指用于1064nm基频光进行波长倍频用的非线性光学晶体，包括KTP和LBO的非线性光学晶体。进一步地，所述凸透镜组(6 )由第一凸透镜(6a)和第二凸透镜(6b )组成望远镜结构。进一步地，所述四倍频晶体(7)是用于532nm基频光进行波长倍频用的非线性光学晶体，包括BBO和CLBO的非线性光学晶体。进一步地，所述二向色镜组(8)包括第一二向色镜(8a)和第二二向色镜(8b)，均以45。放置。进一步地，所述控制系统(10)包括双Q开关同步控制器件和两个泵浦模块控制器件。进一步地，所 述谐振腔采用平-平直腔结构。附图说明图1本技术的一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。参见图1，本技术提供一种的可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，包括:激光谐振腔(I)、第一声光Q开关(2a)、第二声光Q开关(2b)、第一 LD侧面泵浦模块(3a)、第二 LD侧面泵浦模块(3b)、90°旋光晶体(4)、二倍频晶体(5)、凸透镜组(6)、四倍频晶体(7)、二向色镜组(8)、柱面镜(9)和控制系统(10)，其中，所述第一声光Q开关(2a)和第二声光Q开关(2b)分别在第一 LD侧面泵浦模块(3a)和第二 LD侧面泵浦模块(3b)两侧正交放置，第一声光Q开关(2a)、第二声光Q开关(2b)、第一 LD侧面泵浦模块(3a)、第二 LD侧面泵浦模块(3b)和90°旋光晶体(4)位于所述激光谐振腔(I)内，且对称放置，二倍频晶体(5)位于激光谐振腔(I)内紧邻输出端镜放置，所述凸透镜组(6)、四倍频晶体(7)、二向色镜组(8)和柱面镜(9)在激光谐振腔(I)外依次按照光路输出方向共线放置，所述控制系统(10)与所述第一声光Q开关(2a)、第二声光Q开关(2b)、第一 LD侧面泵浦模块(3a)和第二 LD侧面泵浦模块(3b)连接，激光器在泵浦下进行腔本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，包括：激光谐振腔（1）、第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）、90°旋光晶体（4）、二倍频晶体（5）、凸透镜组（6）、四倍频晶体（7）、二向色镜组（8）、柱面镜（9）和控制系统（10），其中，所述第一声光Q开关（2a）和第二声光Q开关（2b）分别在第一LD侧面泵浦模块（3a）和第二LD侧面泵浦模块（3b）两侧正交放置，第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）和90°旋光晶体（4）位于所述激光谐振腔（1）内，且对称放置，二倍频晶体（5）位于激光谐振腔（1）内紧邻输出端镜放置，所述凸透镜组（6）、四倍频晶体（7）、二向色镜组（8）和柱面镜（9）在激光谐振腔（1）外依次按照光路输出方向共线放置，所述控制系统（10）与所述第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）和第二LD侧面泵浦模块（3b）连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李平雪，刘冬羽，池俊杰，杨春，赵自强，胡浩伟，张光举，姚毅飞，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。