【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种SiCOH薄膜的制备方法,其特征在于具体步骤如下:(1)将前驱体、成孔剂、催化剂、H2O,以及溶剂混合,在40?80℃下搅拌0.5?10小时,得到透明成膜液;其中,前驱体为三甲氧基[2?(7?氧杂二环[4.1.0]庚?3?基)乙基]硅烷,成孔剂为P123,催化剂为HCl,溶剂为乙醇;(2)在16~40℃下,将上述成膜液旋涂成厚度为200?500nm的薄膜,旋涂速率为2500?4000rpm转/分钟,旋转时间为25?50秒;薄膜静置10?60分钟,然后移入40?80℃烘箱陈化10?80小时;(3)将陈化后的薄膜在250?500℃的氮气或N2/H2混合气气氛中退火1?10小时。
【技术特征摘要】
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