选区外延单片集成的波长转换器件制造技术

技术编号:9060227 阅读:159 留言:0更新日期:2013-08-21 23:26
本发明专利技术公开了一种选区外延单片集成的波长转换器及其制作方法。该选区外延单片集成的波长转换器报考分布反馈DFB激光器、电吸收调制器EAM、光探测器PD和光放大器SOA四个子器件;其中,所述SOA与PD之间由一段波导连接,组成SOA-PD功能区,该SOA-PD功能区中,所述SOA用于将一定波长的入射光放大,所述PD用于将放大后的入射光转换为光电流信号;所述DFB激光器与EAM之间由一段波导连接,组成电调谐激光器EML功能区;该EML功能区中,所述EAM用于将所述电流信号转换成的电压信号调制在所述DFB激光器提供的激光上,进而实现将一定波长的入射光转成为DFB激光器波长的出射光。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种选区外延单片集成的波长转换器件,其包括:?分布反馈DFB激光器、电吸收调制器EAM、光探测器PD和光放大器SOA四个子器件;?其中,所述SOA与PD之间由一段波导连接,组成SOA?PD功能区,该SOA?PD功能区中,所述SOA用于将一定波长的入射光放大,所述PD用于将放大后的入射光转换为光电流信号;?所述DFB激光器与EAM之间由一段波导连接,组成电调谐激光器EML功能区;该EML功能区中,所述EAM用于将所述电流信号转换成的电压信号调制在所述DFB激光器提供的激光上,进而实现将一定波长的入射光转成为DFB激光器波长的出射光。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:牛斌周代兵王保军边静赵玲娟王圩
申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
类型:发明
国别省市:

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