一种硅材料锥形结构及其制备方法技术

技术编号:9057054 阅读:186 留言:0更新日期:2013-08-21 20:11
本发明专利技术公开了一种硅底材料锥形结构及其制备方法,属于硅微加工技术领域。本发明专利技术将硅基材料干法刻蚀工艺与各向异性湿法腐蚀工艺、各向同性湿法腐蚀工艺相结合,制备出硅材料锥形结构,并用于微透镜的聚合物复制。所述硅材料锥形结构,包括微锥阵列,其特征在于,所述微锥为回转体结构,其轴向剖面轮廓线是斜率为tanα的斜线,α=54.74°;所述微锥的回转体结构椭圆锥体结构或圆锥形结构。本发明专利技术提出的新的硅材料锥形结构及其湿法腐蚀复合工艺方法,简单有效且便于操作,可望应用于制作回转体形状的三维硅结构及聚合物光学器件模具,尤其适用于结构尺寸小于1mm的结构。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅材料锥形结构,包括微锥阵列,其特征在于,所述微锥为回转体结构,其轴向剖面轮廓线是斜率为tanα的斜线,α=54.74°;所述微锥的回转体结构椭圆锥体结构或圆锥形结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黎永前李薇郭勇君张成林
申请(专利权)人:西北工业大学
类型:发明
国别省市:

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