一种多功能扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术目的在于提供一种多功能扫描电镜样品台，使用该样品台能够实现样品的表面、截面、不同倾斜角、不同高度的测试同批次进行，达到节省扫描电镜测试时间以及降低测试成本的目的。其特征是该样品台由一个圆形基板，几个长方体块，一个长方形平板几部分组成。圆形基板用来进行样品的表面测试以及固定其他部件；长方体块可以用来进行样品的表面、截面和不同高度样品的测试，长方形平板可以用来进行样品的不同倾斜角测试。摘要附图为能够同批次进行样品表面、截面、30°倾斜角的测试的样品台设计图。所提供的多功能扫描电镜样品台在涉及到扫描电镜测试的科学研究和生产的领域具有很大的应用价值。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多功能扫描电镜样品台。所提供的样品台可用于涉及到扫描电镜测试的科学研究和生产的领域。
技术介绍
扫描电镜在高等院校、科研院所、大型企业的科学研究和生产领域等应用越来越广泛，已经成为应用较多的科学研究方法之一。基于扫描电镜进行测试和研究的应用范围很广，主要集中在薄膜、粉体、块体等样品的微观表面或截面形貌观察以及样品成分测定等。在进行测试时需要将样品用导电胶固定在特定的样品台上，目前应用的样品台功能单一，做样品表面形貌测试和样品截面形貌测试要分别用对应的样品台，并且对于目前应用的截面样品台能放的样品较少，在样品较多时，就需要分多次来测试，另外有些扫描电镜没有样品架的倾斜功能，这样采用目前的样品台就不能够进行一定倾斜角的测试。由于扫描电镜的测试一方面是要把样品放在真空室中，在开始测试前要先花费一定时间用于抽真空，另一方面是样品需要具有导电性能，如果样品不导电，就要进行喷金或喷碳处理，因此，如果要对样品的表面形貌和截面形貌以及倾斜角形貌都进行测试，就要分多次分别进行，这样的话就需要多次抽真空和多次喷金处理，导致测试时间的延长和成本的提高。本技术提供了一种多功能扫描电镜样品台，其特征一是能分别用于表面、截面、不同倾斜角的测试，二是能同时用于表面、截面、不同倾斜角的测试，三是能实现不同高度的样品同批次测试等。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种多功能扫描电镜样品台，使用该样品台能够实现样品的表面、截面、不同倾斜角、不同高度的测试同批次进行，达到缩短扫描电镜测试的时间以及降低测试成本的目的。1、本技术涉及一种多功能扫描电镜样品台，该样品台所用材质为导电性好的铜或招。2、该样品台由一个圆形基板、几个长方体块和一个长方形平板几部分组成。圆形基板用来进行样品的表面测试以及固定其他部件；长方体块可以用来进行样品的表面、截面和不同高度样品的测试；长方形平板可以用来进行样品的不同倾斜角测试。3、在圆形基板上固定多个长方体块，可以满足较多样品的表面和截面测试；将几个长方体块叠加在一起时，可以满足高度不同的样品的测试；以一个长方体块作为支撑，将长方形平板用导电胶倾斜着固定在圆形基板上时，通过调整支撑点的位置，可以满足样品的不同倾斜角测试。附图说明图1为同批次进行样品表面、截面和30°倾斜角测试用的样品台；图2为同批次进行不同高度样品测试用的样品台。具体实施方案实施例1对于要求直径为50mm圆形样品台的扫描电镜，如果要同批次进行样品表面、截面、30°倾斜角的测试，可以使用如下的样品台:(I) 一个圆形基板,直径Φ为50mm,厚度d为2mm,两个长方体块,其尺寸分别为4mmX4mmX40mm 和 2_X 2_X 20mm, —个长方形平板，尺寸为 40mmX 30mmX 1mm。(2)将尺寸为4mmX4mmX40mm的长方体块用导电胶粘到圆形基板上，长方体块的上表面可以固定表面测试的样品，长方体块的侧面可以固定截面测试的样品。(3)将尺寸为2mmX2mmX20mm的长方体块用导电胶粘到圆形基板上，然后以此作为支撑，将尺寸为40mmX30mmX Imm的长方形平板用导电胶倾斜着固定到圆形基板上，通过调整支撑点的位置，使长方形平板的倾斜角为30°，长方形平板表面可以固定要进行30°倾斜角测试的样品。该样品台的设计图见附图1。实施例2对于要求直径为50mm圆形样品台的扫描电镜，如果要同批次进行高度不同的样品的测试，如一个为块体样品，其高度为10_，另一个样品为薄膜样品，可以使用如下的样品台:(I) 一个圆形基板，直径Φ为50mm,厚度d为2mm,两个长方体块，其尺寸为5mmX 5mmX 50mmο(2)将两个尺寸为5mmX5mmX50mm的长方体块用导电胶重叠粘到一起，再用导电胶将其固定到圆形基板上，长方体块的上表面可以固定表面测试的薄膜样品，长方体块的侧面可以固定截面测试的薄膜样品，高度为IOmm的待测块体样品直接用导电胶固定在圆形基板上。该样品台的设计图见附图2。权利要求1.一种多功能扫描电镜样品台，其特征在于:该样品台由一个圆形基板、几个长方体块和一个长方形平板几部分组成。2.根据权利要求1所述的一种多功能扫描电镜样品台，其特征在于:圆形基板用来进行样品的表面测试以及固定用于进行截面测试的长方体块；长方体块可以用来进行样品的表面、截面和不同高度样品的测试；长方形平板可以用来进行样品的不同倾斜角测试。3.根据权利要求1所述的一种多功能扫描电镜样品台，其特征在于:该样品台的材质为铜或招。·专利摘要本技术目的在于提供一种多功能扫描电镜样品台，使用该样品台能够实现样品的表面、截面、不同倾斜角、不同高度的测试同批次进行，达到节省扫描电镜测试时间以及降低测试成本的目的。其特征是该样品台由一个圆形基板，几个长方体块，一个长方形平板几部分组成。圆形基板用来进行样品的表面测试以及固定其他部件；长方体块可以用来进行样品的表面、截面和不同高度样品的测试，长方形平板可以用来进行样品的不同倾斜角测试。摘要附图为能够同批次进行样品表面、截面、30°倾斜角的测试的样品台设计图。所提供的多功能扫描电镜样品台在涉及到扫描电镜测试的科学研究和生产的领域具有很大的应用价值。文档编号H01J37/20GK203134751SQ20122066692公开日2013年8月14日 申请日期2012年11月30日 优先权日2012年11月30日专利技术者杨海刚, 曹伟伟, 张基东, 蒋玉荣, 王天兴, 常方高 申请人:河南师范大学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多功能扫描电镜样品台，其特征在于：该样品台由一个圆形基板、几个长方体块和一个长方形平板几部分组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨海刚，曹伟伟，张基东，蒋玉荣，王天兴，常方高，
申请(专利权)人：河南师范大学，
类型：实用新型
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